这项ald技术 牵引国产半导体设备攻克难关,导纳,领域,薄膜20241008-z6尊龙app官方网站

这项ald技术 牵引国产半导体设备攻克难关,导纳,领域,薄膜

这场展会(hui)上，微导纳(na)米还(hai)推出全新升级的“夸父”批量式ald系统，在维持卓越(yue)设(she)备性能的同时(shi)，整体体积较上一代产品缩减了约30%，产能也提升10%，真(zhen)正实(shi)现了“小而精”的设(she)计理(li)念。需要指出的是，“夸父”背(bei)后的ald技术之所以能成(cheng)为光伏市场上的“香饽饽”，就源于微导纳(na)米的突破性贡(gong)献(xian)。

ald技术全称为原子层沉积技术，在半导体、光伏、新型显示、柔性电子、新能源等领(ling)域具有多种应用(yong)，是非常(chang)关键的核心(xin)工艺之一。微导纳(na)米董事会(hui)秘书龙文介绍(shao)，它通过交替输入不同的气体，使得这些气体在基底上形成(cheng)原子级厚度的薄膜。由于沉积是在原子层级进行(xing)的，所以制备出来的薄膜具有非常(chang)好的覆盖率和均(jun)匀性，可以在复杂的形貌(mao)结构(gou)上进行(xing)沉积。

作为国内光伏ald设(she)备领(ling)军企业，微导纳(na)米的创业史(shi)是一部充满(man)挑战的奋斗史(shi)。

微导纳(na)米成(cheng)立于2015年(nian)，由企业家王燕清与黎微明博士、李翔博士为核心(xin)的半导体薄膜沉积技术领(ling)域专家团队共同创立。其(qi)中，黎微明是最早开始研究ald技术的华人之一，李翔则拥有十余(yu)年(nian)的半导体器件制造和工艺研发经验。基于对ald等先进薄膜沉积技术在中国发展前景的信心(xin)，黎微明和李翔放弃了在国际知名企业的高管职位，来到无锡这片热土(tu)创业，希望能够推动ald、cvd等半导体技术产业化应用(yong)，填补国内空白领(ling)域。

创业之初，微导纳(na)米面临(lin)着(zhe)资(zi)金、人才资(zi)源的多重挑战，业务发展也面临(lin)着(zhe)国外设(she)备公司设(she)下的壁垒。但这些困(kun)难并没有击垮团队，反而激发出他们更加坚定的奋斗精神(shen)。

“公司创立之初，必须先培养现金流业务来保证存活。”微导纳(na)米总经理(li)周仁向证券(quan)时(shi)报记者(zhe)表示，就在微导纳(na)米成(cheng)立后，属于泛半导体领(ling)域的光伏产业迎来前所未有的发展机遇，也催(cui)生了对先进薄膜沉积设(she)备的巨大需求。王燕清凭借敏(min)锐的市场洞察(cha)力，意识到了半导体ald技术在光伏领(ling)域的应用(yong)潜力，他与黎微明、李翔一拍即合，决定利用(yong)公司在半导体领(ling)域积累的技术优势，将ald技术率先引入光伏产业中。

2016年(nian)，黎微明带领(ling)团队研发出批量型“夸父”原子层沉积设(she)备，用(yong)于光伏电池片生产过程(cheng)中的薄膜沉积环节(jie)，标志着(zhe)中国自主(zhu)创新的光伏核心(xin)装备取得重要突破，该设(she)备也被评定为“江苏省(sheng)首台（套）重大装备产品”。

2022年(nian)，n型电池迎来“量产元年(nian)”。微导纳(na)米围绕n型电池生产的十大步骤、五(wu)大类设(she)备，提供(gong)全新的topcon整线工艺技术z6尊龙app官方网站的解决方案，打造出业内领(ling)先的下一代高效电池生产线。在团队的共同努力下，公司在光伏市场上迅速取得了显著成(cheng)就，陆续获得包(bao)括(kuo)通威太阳能、隆基股(gu)份、晶澳太阳能、阿特斯、隆基股(gu)份、爱旭股(gu)份、晶科能源、天合光能等多家重要光伏客户的订单(dan)。依(yi)靠技术创新上的领(ling)先地位，微导纳(na)米在光伏ald设(she)备市场上已经连续多年(nian)稳居行(xing)业首位。

助力半导体领(ling)域突破

好风(feng)凭借力，扶摇九万里。在光伏领(ling)域取得巨大成(cheng)功后，微导纳(na)米又将目光聚焦(jiao)到对技术和工艺要求更高的半导体集(ji)成(cheng)电路薄膜沉积设(she)备上。周仁向证券(quan)时(shi)报记者(zhe)表示，“我(wo)们希望通过ald技术，推动半导体领(ling)域的创新发展。”

在半导体领(ling)域，薄膜沉积设(she)备与光刻机、刻蚀设(she)备并称为集(ji)成(cheng)电路前道生产工艺中最关键的三(san)类设(she)备。随着(zhe)半导体器件结构(gou)日益复杂，需要堆叠的薄膜层数越(yue)来越(yue)多，光刻、刻蚀等工艺配合ald技术，才能制造出数亿级复杂的半导体芯片。可以说，ald是半导体制造最核心(xin)的基础(chu)工艺之一，对实(shi)现半导体芯片的复杂功能至关重要。

随着(zhe)国际局势的变化，国产半导体设(she)备迎来历史(shi)性机遇。微导纳(na)米利用(yong)光伏积累的资(zi)金和创投(tou)资(zi)金投(tou)入半导体研发，正式启动半导体项目，迅速成(cheng)为国内首家将量产型high-k ald设(she)备应用(yong)于28nm节(jie)点集(ji)成(cheng)电路制造生产线的国产设(she)备公司，实(shi)现了国产ald设(she)备“从0到1”的突破。业内人士介绍(shao)，上述(shu)设(she)备技术有效填补国内空白，达到国际先进水平。

2022年(nian)12月23日，微导纳(na)米在科创板(ban)成(cheng)功上市，为公司的发展插上腾(teng)飞的翅膀。上市后，公司的综合实(shi)力进一步增强，研发强度与营收增速均(jun)高于科创板(ban)市场平均(jun)水平。以2024年(nian)上半年(nian)为例，微导纳(na)米的研发投(tou)入达到2.29亿元，同比增长134.05%，占营业收入的比重达到29.15%，远超行(xing)业平均(jun)水平。

更加引人关注的是，公司将研发投(tou)入的60%以上投(tou)向半导体领(ling)域，并且制定了详细的新产品开发路线图，积极推进新产品的研发，计划在未来两年(nian)内推出一系列创新产品。“我(wo)们在逻辑芯片、存储芯片、化合物(wu)半导体、新型显示等诸(zhu)多半导体细分领(ling)域实(shi)施多元布局，已获得知名客户重复批量订单(dan)，成(cheng)为能与国际巨头同台竞技的民族(zu)企业之一。”周仁向记者(zhe)表示，“我(wo)们期待(dai)这些新产品能够进一步巩固我(wo)们在半导体行(xing)业的领(ling)先地位。”

在国产半导体设(she)备中，cvd设(she)备国产化率仅15%左右，ald设(she)备国产化率更低，基本上不到2%，在一两年(nian)前甚至接近于零。2023年(nian)，微导纳(na)米进一步扩展了cvd产品线，凭借在技术上的独特优势，成(cheng)功推出高温(wen)无定形碳工艺专用(yong)pecvd设(she)备并取得批量订单(dan)，满(man)足了客户在多个技术节(jie)点和工艺环节(jie)对薄膜沉积设(she)备的需求，填补了国内半导体集(ji)成(cheng)电路关键技术空白。

谈及半导体领(ling)域布局的发展前景，周仁直言，虽然整个国际形势、半导体设(she)备形势相对而言比较严峻，但是对于微导纳(na)米这一类从事“从0到1”的半导体设(she)备企业来说，现阶段是非常(chang)重要的战略窗口(kou)期和上行(xing)期，所以景气度还(hai)是非常(chang)高的。

近年(nian)来，微导纳(na)米业绩持续高速增长，成(cheng)为国内半导体公司中跑出的一匹(pi)“黑马(ma)”。

2024年(nian)上半年(nian)，微导纳(na)米实(shi)现营业收入7.87亿元，同比增加105.97%，其(qi)中半导体设(she)备收入同比增长了812.94%，整体占比逐年(nian)提升。截至6月30日，微导纳(na)米在手订单(dan)80.85亿元，其(qi)中光伏在手订单(dan)66.67亿元，半导体在手订单(dan)13.44亿元。与去年(nian)同期相比，半导体在手订单(dan)同比增加了123.09%。相关客户类型涵盖了逻辑、存储、化合物(wu)半导体、硅基oled等领(ling)域，其(qi)中超过75%的增量订单(dan)来自存储领(ling)域，行(xing)业重要客户需求表现强劲(jin)，形成(cheng)批量的重复订单(dan)合计已超过7.5亿元，体现了市场及客户的高度认可。

探索新兴发展机会(hui)

再将目光拉回到慕(mu)尼(ni)黑国际太阳能光伏展，微导纳(na)米推出的钙(gai)钛矿新品无疑是展会(hui)上的一大亮点。

2023年(nian)11月，微导纳(na)米自主(zhu)研发的钙(gai)钛矿晶硅叠层电池专用(yong)设(she)备顺利通过海外客户验收，帮助客户达成(cheng)商业化电池（258.15cm）效率最新世界纪录，完成(cheng)钙(gai)钛矿电池产业化工艺路线拼图，再次实(shi)现国产高端设(she)备逆向出口(kou)海外，充分展现了公司在全球新型高效电池领(ling)域的强大竞争力。

“我(wo)们在光伏里的策略就是抓住当下机遇，同时(shi)又储备未来的技术，来应对整个光伏未来技术转换的发展。”周仁表示，微导纳(na)米正围绕bc电池、hjt电池、钙(gai)钛矿电池等多种新型高效电池领(ling)域，持续完善(shan)技术储备和产品，为全球光伏产业的创新发展注入了新的动力。

如今，微导纳(na)米将ald技术作为核心(xin)竞争力，并构(gou)建了以ald技术平台为基础(chu)，通过产业化应用(yong)服务不同行(xing)业，形成(cheng)以技术为核、多产业为翼的商业模式。这种模式的优势在于，目标行(xing)业市场规模大，如光伏、半导体等每个行(xing)业市场规模均(jun)达百亿级，可为公司带来稳定的收入增长。“这样可以帮助公司逐步突破单(dan)一行(xing)业的发展瓶颈(jing)，解决后期发展可能面临(lin)的天花板(ban)问题。不同事业组合，可以降低单(dan)一周期性行(xing)业的波动风(feng)险。”微导纳(na)米董秘龙文表示，如果公司仅聚焦(jiao)一个周期性行(xing)业，该行(xing)业在周期下行(xing)时(shi)，公司整体订单(dan)和收入也会(hui)下滑，“而多产业组合可减弱单(dan)行(xing)业风(feng)险”。

随着(zhe)人工智能、自动驾驶、虚拟现实(shi)、柔性电子等新兴产业加速发展，微导纳(na)米不断探索在新兴产业应用(yong)领(ling)域进行(xing)薄膜工艺相关专用(yong)设(she)备和技术的研发，并逐步开展产品应用(yong)验证，持续推动新兴产业的技术进步，助力客户在相关领(ling)域保持行(xing)业领(ling)先地位。

据了解，微导纳(na)米还(hai)将继续探索尖(jian)端薄膜沉积技术在各新兴应用(yong)领(ling)域的发展机会(hui)，如柔性镀膜、芯片封装、光学超低减反膜沉积、新能源等细分应用(yong)领(ling)域的薄膜沉积技术，“虽然目前这些领(ling)域的现有订单(dan)量不大，但公司看好这些领(ling)域的市场潜力和技术应用(yong)前景。”微导纳(na)米董秘龙文表示。

就在今年(nian)1月，微导纳(na)米创新研发的ald量产设(she)备顺利发往欧(ou)洲某头部芯片制造客户，专用(yong)于其(qi)新型车载芯片的生产制造，再次实(shi)现国产高端设(she)备逆向出口(kou)海外，标志着(zhe)微导纳(na)米推动ald技术在新兴产业领(ling)域的应用(yong)又取得新的突破，为公司全球化及多元化发展布局增添新的动力。

今年(nian)4月15日，微导纳(na)米自主(zhu)研发的专用(yong)于光学行(xing)业的ald量产设(she)备成(cheng)功发往客户现场进行(xing)产业化验证，标志着(zhe)微导纳(na)米在光学领(ling)域的技术研发取得新突破。该设(she)备专为消费电子光学摄像头、ar/vr光学透镜、精密光学元器件等产品的薄膜沉积加工工艺而设(she)计，助力摄像镜头等精密光学技术实(shi)现了迭代升级，也彰显了微导纳(na)米以ald技术为核心(xin)，持续挖掘技术创新潜力、探索新兴行(xing)业应用(yong)的强大实(shi)力。

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